Dry etching. Разработка технологии удаления жертвенного слоя в мемс структурах.

Расчет дизайна покрытий разных типов (просветляющие, поглощающие, светофильтры, зеркала и т.п.); Контроль процесса напыления диэлектрических пленок интерференционных покрытий магнетронным методом; Обслуживание вакуумных установок (регламентные работы, очистка оснастки и другие работы); Создание чертежей оснастки; Руководство командой вакуумных установок (инженеры- технологи, операторы). Получил президентскую стипендию за научные достижения в сфере ОПК.

- Разработка технологических процессов. - Разработка технологий напыления тонкопленочных покрытий магнетронным методом с ассистированием геликонной плазмы. - Разработка технологий и применение углеродных пленок в биомедицине. - Патент "Устройство для травления полупроводниковых структур" №2680108

- Разработка технологии создания портативных ядерных источников энергии

- Разработка технологии крепления оптоволокна в датчиках основанных на решетках Вульфа-Брэгга с помощью металлизации оптоволокна вакуумно термическим напылением, химической металлизацией из жидкой фазы, электролизом.

- Освоение процессов химического травления. - Исследование жидкостного травления кремния с использованием благородных металлов в качестве катализаторов реакции. - 1-ое место во Всероссийской межвузовской научно-технической конференции конференции студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика 2015" по секции " Материалы микро- и наноэлектроники"

- Освоение работы на установках вакуумно-плазменного оборудования. - Разработка технологических процессов нанесения катодных и анодных материалов для литий-ионных аккумуляторов.

- Работа со спецификациями и технологическими картами.